日前，甬江实验室信息材料与微纳器件制备平台（以下简称“微纳平台”）研发线运行仪式举行，标志着全市首个高能级微纳平台开启运行。

新一代半导体技术发展有力支撑产业升级、国家发展。微纳平台聚焦“芯片异构集成”和“微纳光学”两大方向，以“装备精良、技术领先、客户信任”为基石，致力于成为开放共享科创服务平台，支撑前沿科技创新、引领微纳制造技术、赋能产业高质量发展。

微纳平台位于甬江实验室创园，建筑面积1.2万平方米，围绕半导体关键共性核心技术的研发与应用，构建从材料制备到晶圆制造、器件封装、测试分析与可靠性验证的全流程服务，可提供先进稳定的工艺设计套件和高工业参考价值的系统解决方案。“甬江实验室耗时逾3年，历经国内外调研、论证、场地建设、设备安装调试等多个环节，微纳平台研发线正式建成、投入运行。”甬江实验室党委书记、主任崔平说。

微纳平台将为高校院所开展前沿基础研究、自主创新，提供强有力的关键基础设施、先进工艺开发与验证环境，促进新材料、新器件、新工艺的研发突破，加速科研成果转化为现实生产力。“以微纳平台为纽带，整合创新资源，推动产学研协同，打通创新链、产业链上下游合作通道，促进设计、制造、封测等环节协同，加强材料、设备、工艺的配套研发，形成良性互动的创新生态。”甬江实验室微纳平台负责人钟飞说。

活动现场，甬江实验室与北京、江苏、浙江等地的近10家相关产业链企业合作签约仪式同步举行。崔平表示，微纳平台将紧盯持续完善平台功能、建立高效运营机制、深化产学研协同、加强人才培养等方面，逐步释放平台潜在价值，力争惠及更多创新链产业链朋友圈，助推科技创新与产业创新融合发展。